【射频微机械开关】一、技术领域本发明涉及一种射频微机械开关。二、背景技术

　　现有的射频开关主要由平膜梁、桥墩、绝缘层及共平面波导组成，这种开关主要有

　　如下缺陷：(1)由于平膜梁具有较大的等效弹性系数，共阈值电压较高，通常尺寸

　　的射频微机械膜开关的阈值电压约为20～30V。(2)在弹性梁的制作过程中，由于

　　有高温工艺，所以微机械金属梁中将有较大的残余应力，弹性梁中的残余应力不仅

　　共平面波导地平面42组成，在共平面波导的上方设有固支梁7，固支梁7通过桥

　　本发明在固支梁中引入了纹膜结构，有效减小固支梁的等效弹性系数，降低开关的

　　阈值电压，采用带纹膜结构的固支梁能显著降低残余应力，由此提高了开关的使用

　　寿命。(2)凸起技术措施可以预防固支梁粘连，使本发明具有抗粘连作用。四、附

　　图说明图1是本发明结构主视图。图2是本发明结构左视图。五、具体实施方案一

　　种射频微机械开关，包括衬底1，在衬底1上设有共平面波导，共平面波导由共平

　　固支梁7通过桥墩2和高频阻抗线连接，该高频阻抗线下方的共平面波导信号线，本实施例将凸起6设置于共平面波导信